OP5340(膜厚儀)
91av半導體專注於半導體(tǐ)工藝設備的研發、製造、銷售及售後一體化服務,提供半導(dǎo)體廠商工藝設備的一站式解決方案。
關鍵詞:
半導體設備、半導體工藝
所屬分類:
產品(pǐn)描述
Opti-Probe 5000 用於非(fēi)接觸式晶圓膜厚測量,通過測量(liàng)單(dān)層或多(duō)層晶圓上薄膜的光學參數(反射光和(hé)建模的薄膜參數(shù)),計算出薄膜厚度。Opti-Probe 5000 集成了多達六種不同的技術來測量薄膜(mó)厚度以及反(fǎn)射率,使用 laser,white light lamp,D2 lamp 等光源進行測量。
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